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本文標題："光學(xué)比較顯微鏡-對比不同樣品的區(qū)別軟件"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-12-8 1:50:57 本站主頁地址：http://m.pzfczx.com
光學(xué)比較顯微鏡-對比不同樣品的區(qū)別軟件
光學(xué)比較法
這種方法的工作原理是將兩塊掩膜版
進行比較以尋找兩者之間的差別。兩塊掩
膜版分別放在平臺上，然后分別由經(jīng)過濾
色后成，為互補色的兩個光源照明，將兩塊掩膜版
的圖形進行重疊，造成顯微鏡中的明場和
暗場的匹配區(qū)域。假如兩塊掩膜的某一塊
出現(xiàn)圖形上的變化，就會以這塊掩膜版所照射的光源的顏色顯示
出來。人的眼睛對于圖形的差別是非常敏感的，因此一旦在掩膜版
上出現(xiàn)缺陷或者圖形異常，將會很快被檢查出來。但使用光學(xué)比
較法來發(fā)現(xiàn)缺陷，其代價是很高的，因為:1.套準必須最佳，但
這是很花費時間的，2。操作過程很難實現(xiàn)自動化，3.需要特別高
的機械精度。
上述這些問題是很重要的，因此光學(xué)比較器現(xiàn)在一般仍用于
檢驗一些特別重要的領(lǐng)域，如臨界尺寸檢驗和線條寬度變化等。
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